http://ir-heat-china.com/de/tags/gebietet/ Recent content in Gebietet on China Infrared Heating Manufacturer Hugo de Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/de/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/de/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Zonales Heizen für moderne Wafer Fabriken"></p> <p>Im Fertigungsraum reicht bereits eine Temperaturabweichung von 0,3 °C über die gesamte Waferfläche aus, um zu einer Veränderung der CD-Werte zu führen, zu Problemen bei der Deckung der Schichten sowie dazu, dass der Photoresist <a href="https://henruite.com">seine</a> thermischen Grenzen überschreitet. Es gibt keine Warnlichter – nur Verschwendung von Materialien und dringende Anfragen seitens der Lithografieabteilung.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist:</strong><br> Wir haben ein System mit zonalem Heizen entwickelt, bei dem jede Zone unabhängig gesteuert wird. Jede Zone nutzt schnelle NIR-Strahler mit quartzgestütztem Ausstrahlungsprofil. Dadurch können konstante Temperaturen zwischen 150–300 °C erreicht werden, mit einer Genauigkeit von ±0,1 °C auf der Waferoberfläche.</p>