Ellipsometrie Wafer Probenheizer

Wed, 17 Jun 2026 16:05:31 +0800

In der Fertigungshalle führen Temperaturschwankungen während des Tests der Wafer sowie beim Trocknen des Photoresists nicht nur dazu, dass die spezifizierten Parameter nicht eingehalten werden – sie führen auch dazu, dass der Ertrag sinkt. Wir haben einen Heizer für die Ellipsometrie-Proben entwickelt, der dafür sorgt, dass die Temperatur stets innerhalb des zulässigen Bereichs bleibt – selbst dann, wenn die Anlage auf Hochtouren läuft.

Was technisch wichtig ist:
Der Heizer nutzt kurzwelliges Infrarotlicht sowie einen schnell reagierenden Quarz-Halogen-Emitter. Dadurch ist eine zuverlässige Steuerung der Temperatur möglich. In der Probenzone bleibt die Homogenität der Temperatur bei ±0,1°C – dadurch bleiben wichtige Schritte wie das sanfte oder starke Trocknen sowie die Nachbehandlung des Photoresists innerhalb der zulässigen Temperaturgrenzen. Der Heizer ist außerdem für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet und wurde so konzipiert, dass keine Partikel entstehen. Die heiße Zone ist isoliert, und die Oberflächen sind passiviert, um Kontaminationen zu vermeiden. Die integrierte Temperatursteuerung sorgt dafür, dass die Prozessparameter von Tag zu Tag sowie von Charge zu Charge konstant bleiben.

Probe on China Infrared Heating Manufacturer

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