Sensor on China Infrared Heating Manufacturer

Intelligente Sensorverpackung für Infrarotstrahlung

Mon, 27 Jul 2026 08:53:54 +0800

Warum wir auf heiße Luft zugunsten von Infrarotstrahlung bei der Verpackung von Sensoren verzichten
Wer schon einmal mit der Verpackung von Halbleitern zu tun hatte, kennt die Frustration, die damit verbunden ist – insbesondere das Warten darauf, dass die Komponenten warm werden. Lange Zeit haben wir uns auf die Verwendung von heißer Luft verlassen. Doch ehrlich gesagt: Das ist viel zu langsam.

Das Problem bei der Verwendung von heißer Luft ist folgendes: Zuerst muss die Luft erhitzt werden, anschließend erwärmt dadurch das Substrat und schließlich auch die Komponente selbst. Das ist wie versuchen, ein Haus zu erwärmen, indem man zunächst nur den Eingangsbereich erwärmt.

Heizer zur Herstellung von Wasserstoffsenzoren

Sat, 25 Jul 2026 05:00:19 +0800

Warum wir auf Infrarotheizung für Wasserstoffsensoren umgestiegen sind
Bei der Herstellung von Wasserstoffsensoren ist die Temperatur entscheidend. Selbst geringfügige Abweichungen im thermischen Profil können dazu führen, dass das gesamte Sensorelement seine Stabilität verliert oder nicht mehr empfindlich reagiert. Lange Zeit wurden dabei diese unpraktischen Widerstandsofen verwendet – doch wir haben uns nun für Infrarotsysteme entschieden.

Das ist eine bessere Lösung. Nicht nur wird so Energie eingespart, da der riesige Ofen nicht unnötig in Betrieb bleibt, sondern auch die Zeit bis zur Erreichen der gewünschten Temperatur wird deutlich verkürzt. Es ist zwar gut für die Umwelt – aber vor allem ist es eine intelligente Art und Weise, eine Produktionslinie zu betreiben.

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Fri, 24 Jul 2026 11:55:34 +0800

Sicherstellen, dass Ihre Wafer-Werkzeuge nicht versagen
Wenn man mit hochpräzisen Wafer-Werkzeugen arbeitet, sind die Grenzen äußerst eng. Ein kleiner elektrischer Leckstrom reicht bereits aus – dann ist die ganze Charge an Silizium wertlos.
Deshalb machen wir hier keine „Probenkontrollen“. Wir testen nicht nur ein paar Stücke und hoffen auf das Beste. Jede Lampe sowie jedes Heizelement, das unser Werk verlässt, wird einer vollständigen Prüfung auf Durchhaltefähigkeit unter Hochspannung sowie auf die Isolationswiderstandskraft unterzogen. Keine Ausnahmen.

Stressprüfung des Systems
So funktioniert es eigentlich: Die meisten Lecks entstehen durch mikroskopisch kleine Risse im Quarz oder durch unzureichend saubere Dichtungen. Um diese zu finden, unterziehen wir die Geräte einer Hochspannungsbelastungsprüfung – einer Belastung, die weit über dem Wert liegt, der in der Produktion tatsächlich verwendet wird. Ziel ist es, eventuelle Schwachstellen bereits hier zu entdecken, anstatt dass sie später innerhalb des Werkzeugs zum Versagen führen.
Falls der Leckstrom zu hoch ist, entsorgen wir einfach den Betriebsstoff. So einfach ist das.

Trocknungshitze für MEMS Sensorwafer

Sun, 19 Jul 2026 16:26:09 +0800

Eine intelligente Methode zum Trocknen von MEMS-Wafern – und gleichzeitig Energie sparen
Beim Trocknen von MEMS-Sensorenwafern muss man vorsichtig vorgehen. Es muss jede Spur von Feuchtigkeit beseitigt werden – doch wenn man zu aggressiv vorgeht, können die winzigen, empfindlichen Mikrostrukturen zerstört werden.

Die alte Methode? Konvektionsöfen. Doch das Problem ist: Sie verbrauchen enorm viel Energie nur damit, die Luft im gesamten Raum zu erhitzen. Das ist verschwenderisch.

Wir haben eine bessere Methode gefunden: Kurzwell-infrarote Lampen. Anstelle der Erhitzung der Luft strahlen diese Lampen direkt auf die Wafer. Dadurch wird die Trocknungszeit stark verkürzt. Wenn die Maschine nicht stundenlang laufen muss, um eine Charge fertigzustellen, sinken sowohl die Stromkosten als auch der CO2-Fußabdruck des Reinraums.

Präziser IR Sensor für Wafer

Fri, 10 Jul 2026 12:30:20 +0800

Kohlenstoffemissionen in der Fertigung reduzieren: Warum Präzises Infrarotheizen tatsächlich funktioniert
Heutzutage spricht jeder von „grünen Fabriken“. Doch wer eine Halbleiterfertigungsstätte betreibt, weiß, dass die Reduzierung der Kohlenstoffemissionen letztlich auf eines hinausläuft: darauf, wie man mit der Wärme umgeht.
Die herkömmlichen Widerstandsofen sind einfach zu verschwenderisch – sie erhitzen alles: den Raum, die Luft, die Wände – im Grunde alles außer dem Bereich, der eigentlich wichtig ist.
Deshalb haben wir uns für Präzises Infrarotheizen entschieden. Anstatt den ganzen Raum zu erwärmen, lenken wir die Energie gezielt auf die Oberfläche des Wafer.
Der Schlüssel liegt in der Energiedichte. Wir verwenden kurzwelliges Infrarot sowie Lampen mit hoher Leistungsdichte, um schnell die gewünschten Temperaturen zu erreichen. Dadurch wird weniger Energie pro Wafer benötigt.
Aber man kann die Leistung nicht einfach auf das Maximum erhöhen, nur um die Prozesse zu beschleunigen. Dadurch entstehen heiße Stellen – und niemand möchte einen verzerrten Siliziumwafer haben. Es geht darum, die richtige Einstellung der Lampen zu finden, damit die Wärme gleichmäßig verteilt wird.
Wo sich die wirklichen Einsparungen verbergen
Hier liegt oft ein Fehler: Die „versteckte“ Energie. Wenn man auf Infrarotheizen umsteigt, wird keine Energie mehr verschwendet, da die riesigen Öfen nicht mehr ungenutzt bleiben. Wir nutzen Quarzkapseln und Reflektoren, um jedes Photon zurück auf das Ziel zu lenken. Da keine Energie mehr überall im Raum verloren geht, müssen die Lüftungs- und Kühlsysteme nicht mehr so hart arbeiten, um den Raum kühl zu halten. Das führt zu einer deutlichen Reduzierung der Kohlenstoffemissionen.
Aber es ist nicht alles Magie
Ehrlich gesagt: Infrarotheizen ist keine Lösung, bei der man einfach alles auf Automatik stellen kann. Die Sensoren müssen perfekt eingestellt werden. Wenn der PID-Regler nicht richtig eingestellt ist, wird die gewünschte Temperatur überschritten – und die Wafer werden beschädigt. Zudem altern die Lampen mit der Zeit. Je mehr der Filament abgenutzt ist, desto mehr ändert sich die spektrale Ausstrahlung. Das darf man nicht ignorieren – man muss die Leistungsanpassung im Laufe der Zeit vornehmen, damit das thermische Profil konstant bleibt.
Es erfordert etwas mehr Sorgfalt, aber die Ersparnisse in Bezug auf Energie und Effizienz lohnen sich auf jeden Fall.