Warum goldbeschichtete Reflektoren für das Trocknen von Wafern wirklich wichtig sind Beim Trocknen von Wafern geht es nicht nur darum, Wärme zu...

Lithographiebereich: Ein FOUP mit 25 Wafern, jeweils frisch mit Photoresist, rollt auf dem Fahrweg ein. Das Bake-Modul muss zielgenau und gleichmäßig...