En la etapa de secado, antes de la litografía, se determina en gran medida el rendimiento del proceso de fabricación. Los residuos de fotorreactivos, las marcas causadas por el agua y los problemas relacionados con los bordes de las obleas… En la mayoría de los casos, se puede atribuir todo esto a fluctuaciones en la temperatura de la placa, a un control deficiente de la temperatura o a partículas que se desprenden de la propia herramienta. Por eso hemos creado el calentador para secado tipo “Lab-on-a-Chip”, con el objetivo de eliminar esos factores que afectan negativamente el proceso.
Lo que realmente importa Este dispositivo utiliza elementos de infrarrojos de onda corta, además de un diseño térmico optimizado con cuarzo. Esto permite lograr una uniformidad de temperatura de ±0.1°C en toda la superficie activa de la oblea. La reproducibilidad de la temperatura es de ±0.2°C entre diferentes lotes, lo cual garantiza que los procesos de secado sean consistentes. Eso es exactamente lo que se necesita para trabajos críticos con fotorreactivos.
Es compatible con salas limpias de clase 1-100, gracias a sus materiales con baja emisión de gases, conexiones selladas y un sistema que evita la liberación de partículas durante su funcionamiento. En nuestras líneas piloto, este calentador funciona 24/7 sin interrupciones, y su consumo energético está ajustado para adaptarse al requisito térmico de los sustratos utilizados en el proceso “Lab-on-a-Chip”.
Por qué es adecuado para las condiciones reales de fabricación En la fabricación tipo “Lab-on-a-Chip”, el tiempo disponible para el secado es muy limitado. Se necesita una deshidratación rápida, un control preciso de la temperatura y un proceso que no genere contaminación. Este dispositivo sustituye a las placas calientes tradicionales y a los sistemas de infrarrojos antiguos por una solución comprobada que cumple con los estándares internacionales de equipos de semiconductores.
Los beneficios son claros: un mejor control de las dimensiones críticas, menos necesidades de retrabajo y tiempos de procesamiento más predecibles. Cuando desaparecen las fluctuaciones de temperatura, se reducen los defectos causados por un secado insuficiente o excesivo.
Detalles prácticos a tener en cuenta Para su instalación, se necesita una fuente de alimentación dedicada de 24 VDC, con conexión a tierra adecuada. Si hay instrumentos sensibles a las interferencias electromagnéticas cerca, es necesario planificar adecuadamente el aislamiento eléctrico. El calentador alcanza rápidamente la temperatura deseada, pero la masa térmica varía según el sustrato utilizado. Por lo tanto, es necesario verificar la tasa de aumento de temperatura según las características específicas del chip.
Ofrecemos interfaces estándar para su integración, aunque en algunos casos se requieren accesorios personalizados. Si se realiza correctamente esta configuración inicial, se obtendrá un rendimiento consistente y menor cantidad de sorpresas relacionadas con el rendimiento del proceso.