Calentador infrarrojo de precisión para electrónica

Wed, 01 Jul 2026 13:06:03 +0800

En la planta de fabricación, el proceso de secado del fotoreactivo no se trata simplemente de un paso preparatorio. Se trata, más bien, de un proceso esencial para garantizar la precisión en las dimensiones críticas de la oblea. Una variación de 2°C durante este proceso puede causar irregularidades en las dimensiones de la oblea. Por eso, hemos desarrollado un calentador infrarrojo de alta precisión, capaz de mantener la temperatura en los rangos adecuados.

Lo que realmente importa desde el punto de vista técnico
Utilizamos fuentes de luz de onda corta con un acoplamiento radiativo rápido y directo. La respuesta del sistema es inferior a un segundo, y la uniformidad a nivel de la oblea se mantiene dentro de un rango de ±0,1°C. El cuerpo del calentador está hecho de cuarzo y cerámica de alta pureza, lo que garantiza que no haya emisión de gases ni generación de partículas. De esta manera, se mantiene un entorno de clase 1–100 en la sala limpia. La repetibilidad térmica entre ciclos es de ±0,5°C, lo que permite que cada proceso de secado se realice bajo las mismas condiciones térmicas. El control en bucle cerrado utiliza pirómetros calibrados y un SSR estable, lo que evita la formación de puntos calientes en los bordes de la oblea.

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Calentador infrarrojo de precisión para electrónica