Lámpara PVD (Deposición Física de Vapor)

Wed, 03 Jun 2026 12:30:45 +0800

En la planta de fabricación, una corrida de PVD se detiene cuando la lámpara falla, y la cola de obleas simplemente se queda esperando. El presupuesto térmico deriva, el espesor de la película comienza a variar, y el rendimiento disminuye antes de que la alarma se despeje. Se necesita una fuente de calor que siga el ritmo de la línea, no una que lo dicte.

Lo que importa, técnicamente
Diseñamos estas lámparas PVD en torno a un control térmico repetible. A lo largo de la oblea, la uniformidad se mantiene dentro de ±0.1°C, utilizando elementos infrarrojos de onda corta que responden rápido y mantienen estabilidad espectral. Las partes de cuarzo y los sellos herméticos mantienen la generación de partículas cerca de cero—compatibles con salas limpias de Clase 1–100. Están calificadas para operación 24/7, con seguimiento de vida útil superior a 5,000 horas y deriva inferior al 5%. Las interfaces encajan en las huellas estándar de las herramientas, y las especificaciones eléctricas cumplen con las normas internacionales para equipos semiconductores.

Vapor on China Infrared Heating Manufacturer

Lámpara PVD (Deposición Física de Vapor)