دست از هدر دادن گرما در فرآیند پردازش ویفرها بردارید!
بیایید صادق باشیم: هدر دادن انرژی در اتاقهای تمیز، یک مشکل واقعاً جدی است. وقتی که سیلیکون ویفرها را گرم میکنید، میخواهید که تمام انرژی مادون قرمز به سمت سطح ویفرها برود؛ نمیخواهید که این انرژی از بین برود و باعث شود که بدنه فر، به یک رادیاتور عظیم تبدیل شود.
به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. شاید این روش پیچیده به نظر برسد، اما منطق آن بسیار ساده است.
چرا طلا؟
اکثر مردم از بازتابندههای آلومینیومی استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که آلومینیوم بخش زیادی از انرژی مادون قرمز را جذب میکند؛ در حالی که طلا چنین نمیکند. طلا در بازتاباندن انرژی مادون قرمز بسیار مؤثر است.
ما در اینجا درباره افزایش توان صحبت نمیکنیم؛ بلکه درباره «تمرکز» انرژی صحبت میکنیم.
با استفاده از لایه طلا، میتوانیم فوتونهایی را که معمولاً از بین میروند، دوباره به سمت ویفرها هدایت کنیم. نتیجه این کار، کاهش گرمای اضافی است؛ دیگر نیازی نیست نگران نقاط گرمی باشید که فرآیندهای خشک کردن را مختل میکنند.
تعادل در انتقال گرما
معمولاً این گرمکنها را در فضاهای کوچک ساختار میدهیم؛ جایی که نمیتوان هوای زیادی را در آنجا جابجا کرد.
از آنجایی که پوشش طلا باعث میشود انتقال گرما بسیار کارآمدتر شود، میتوانید توان لامپها را کم کنید و همچنان به دمای مورد نظر برسید. سیستم تهویه هوا نیز از این کار سپاسگزار خواهد بود، چون انرژی اضافی وارد اتاق نخواهد شد.
اما یک نکته مهم: مراقب سیستم خنککننده نیز باشید.
از آنجایی که انرژی بسیار متمرکز است، اگر سیستم تهویه هوا کار نکند، بدنه لامپ میتواند دچار آسیب شود. اگر از فنهای خنککننده ارزانقیمت استفاده کنید، در واقع در حال تسریع فرسودگی رشتههای الکتریکی لامپ هستید.
تأثیر این روش بر شما
در دنیای واقعی، این روش باعث میشود که کارها سریعتر انجام شوند. زمان لازم برای گرم شدن ویفرها کاهش مییابد؛ پاسخ حرارتی نیز سریعتر خواهد بود. برای کسی که کار را انجام میدهد، این بدان معناست که تعداد ویفرهایی که از سیستم عبور میکنند بیشتر میشود، و زمانی که باید منتظر تغییرات فرآیند باشیم، کمتر میشود.
این روش، راه سادهای برای افزایش کارایی است، بدون اینکه نیازی به تغییر کل بودجه انرژی باشد.