در فرآیند تولید، مرحله حرارتدهی، یک توقف ساده نیست؛ بلکه یک مرحله حیاتی در فرآیند تولید است. روشهای حرارتدهی مختلف، نقش مهمی در کنترل ابعاد مهم قطعات، جذب مواد حلال و چسبندگی فوتورزیست به سطح قطعات دارند. اگر دمای صفحه حرارتی تغییر کند، یا مقدار دمای مورد نظر با دمای واقعی قطعات هماهنگ نباشد، کیفیت تولید کاهش خواهد یافت. به همین دلیل است که ما از ماژولهای گرمایشی مادونقرمز استفاده کردهایم؛ دما تنها یک عدد نیست، بلکه یک محدودیتی است که باید رعایت شود.
چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارند؟ ما از فرستندههای مادونقرمز با امواج کوتاه و عناصر کوارتزی با پاسخگویی سریع استفاده میکنیم. حرارت دقیقاً به جایی که لازم است ارسال میشود، بدون اینکه قسمتهای اطراف آسیب ببینند. یکنواختی دما در سطح واشرها در طول فرآیند تولید، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ بنابراین عرض خطوط و ساختار واشرها در هر دور تولید یکسان خواهد بود. فرآیندهای افزایش و کاهش دما نیز با استفاده از سیستم بازخورد بسته کنترل میشوند؛ به این ترتیب، دما برای واشرهای ۱۵۰ میلیمتری و ۲۰۰ میلیمتری یکسان خواهد بود. این ماژولها برای استفاده در اتاقهای پاک با درجه پاکیزگی ۱ تا ۱۰۰ طراحی شدهاند؛ از موادی با انتشار گاز کم و طراحیهایی که ایجاد ذرات را کاهش میدهند، استفاده شده است.
چرا این ماژولها در فرآیندهای تولید واقعی کارایی دارند؟ در فرآیندهای لیتوگرافی، این ماژولها به راحتی در ایستگاههای حرارتدهی نصب میشوند، بدون اینکه با سیستمهای رباتیک درگیر شوند. این ماژولها باعث میشوند که رفتار فوتورزیست یکنواخت باشد؛ مشکلات کمتری رخ میدهد، تعداد نقصها کاهش مییابد و نیاز به تعمیرات کمتری وجود دارد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا ما فقط فیلم را گرم میکنیم، نه کل اتاق. همچنین، زمان کارکرد سیستم نیز بهبود مییابد؛ سیستم میتواند ۲۴ ساعته کار کند، و نیازی به توقفهای ناگهانی برای تعمیرات نیست.
چه چیزهایی باید در نظر بگیرید؟ نصب این ماژولها نیازمند تطبیق ظاهر مکانیکی و اتصالات آنها با سیستم تولید شماست. انتظار داشته باشید که زمان کوتاهی برای تنظیم سرعت افزایش/کاهش دما لازم باشد. عمر این فرستندهها طولانی است، اما برای همیشه نیست؛ بنابراین باید در زمان تعمیرات پیشگیرانه، آنها را تعویض کنید تا یکنواختی دما همواره حفظ شود.