نگهداری ویفرها در حالت تمیز: حقیقت درباره گرمایش
در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱۰۰، یک ذره کوچک گرد و غبار نه تنها مزاحمت ایجاد میکند، بلکه میتواند باعث از بین رفتن ویفرها شود. اکثر عناصر گرمایشی در چنین محیطهایی مشکلساز هستند؛ زیرا هر بار که گرم یا سرد میشوند، گازها یا ذراتی را آزاد میکنند.
به همین دلیل، ما روشهای متفاوتی را به کار میبریم؛ از لامپهای کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم که مخصوص صنعت تراشهسازی ساخته شدهاند.
مبارزه با مشکل «مهآلودگی»
مشکل اصلی مربوط به شیشه است؛ شیشههای معمولی حاوی فلزات ناخالصی هستند. وقتی که دما بالا میرود، این ناخالصیها تبخیر شده و روی سطح ویفر قرار میگیرند. احتمالاً شما نیز در چند دور اول استفاده، مشکل مهآلودگی را مشاهده کردهاید.
ما این مشکل را با استفاده از لولههای کوارتز با خلوص بالا و روشهای پاکسازی دقیق، حل میکنیم. هیچ چیزی بدون باقیماندن رسیدگیهای لازم، از کارخانه خارج نمیشود.
گرمایش مؤثر
این لامپها از موجهای کوتاه مادون قرمز استفاده میکنند؛ بنابراین دمای آنها به سرعت افزایش مییابد. ما حدود اشتباهات را کنترل میکنیم تا گرمایش در سراسر لوله یکنواخت باشد. اما یک توصیه: اگر از سیستمهایی با توان بالا استفاده میکنید، حتماً سیستم خنککننده آنها را بررسی کنید. اگر نتوانید گرمای تولید شده را کنترل کنید، کالیبراسیون سنسورها دچار اختلال خواهد شد.
نگهداری از تجهیزات
ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که تعویض آنها آسان باشد؛ چون هیچ کس دوست ندارد که تجهیزاتش متوقف شوند. درپوشهای این لامپها بسیار محکم هستند؛ بنابراین نگران نشت گازهای هالوژنی نیستید. فقط یک نکته: مطمئن شوید که کانکتورهای لامپ قادر به تحمل گرمای تولید شده هستند. نمیخواهید که متوجه شوید که ترمینالهای لامپ در حال ذوب شدن هستند.
خب، اینها ابزارهایی نیستند که بتوانید آنها را فقط فعال کنید و فراموششان کنید. باید مرتب به کوارتز لامپها نظارت کنید؛ با گذشت زمان، محصولات جانبی فرآیند تولید روی لوله تجمع میکنند. در این صورت، میزان تابش گرما تغییر میکند. متوجه خواهید شد که میزان مصرف انرژی برای حفظ دمای یکنواخت سطح، افزایش مییابد. وقتی این افزایش را مشاهده کردید، وقت آن رسیده که لامپ جدیدی نصب کنید.