http://ir-heat-china.com/fa/tags/%D9%BE%DB%8C%D8%B4%D8%B1%D9%81%D8%AA%D9%87/ Recent content in پیشرفته on China Infrared Heating Manufacturer Hugo fa Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/fa/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/fa/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="سیستم گرمایش منطقهای برای کارخانههای پیشرفته تولید ویفر"></p> <p>در کارخانه تولید، حتی تغییر دمای ۰.۳ درجه سانتی‌گراد در سطح ویفر نیز می‌تواند باعث اختلال در عملکرد CD شود؛ همچنین می‌تواند باعث اختلال در لایه‌های فوتورزیست و فراتر رفتن دما از حد مجاز آن شود. هیچ چراغ هشداری وجود ندارد؛ تنها چیزی که اتفاق می‌افتد، از بین رفتن محصولات تولید شده است… و البته نیاز به تماس فوری با بخش لیتوگرافی.</p> <p><strong>آنچه واقعاً اهمیت دارد:</strong> ما سیستم گرمایش منطقه‌ای را طوری طراحی کرده‌ایم که هر منطقه به صورت جداگانه و تحت کنترل دقیق، گرم شود. هر منطقه از فرستنده‌های نور در طیف مادون قرمز استفاده می‌کند؛ این فرستنده‌ها دارای پروفایل دمایی پایدار هستند و دمای ویفر را در محدوده ۱۵۰ تا ۳۰۰ درجه سانتی‌گراد، با دقت ±۰.۱ درجه، حفظ می‌کنند.</p>