http://ir-heat-china.com/fa/tags/nir/ Recent content in (NIR) on China Infrared Heating Manufacturer Hugo fa Thu, 25 Jun 2026 04:57:55 +0800 http://ir-heat-china.com/fa/posts/near-infrared-nir-emitter-bulb/ Thu, 25 Jun 2026 04:57:55 +0800 http://ir-heat-china.com/fa/posts/near-infrared-nir-emitter-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="لامپ ساطعکننده نور مادون قرمز نزدیک (NIR)"></p> <p>در خط تولید، نوسانات حرارتی در هنگام پخت فوتورزیست، موضوعی تئوریک نیستند؛ این نوسانات منجر به تغییرات در عرض خطوط و کاهش بازدهی می‌شود. دستگاه‌های گرمایشی معمولی، کنترل این نوسانات را دشوار می‌کنند و نمی‌توانند ناهمگونی‌های موجود در لبه‌های ویفر را برطرف کنند. لامپ‌های تابش نزدیک‌بنفش، برای جبران این مشکل ساخته شده‌اند؛ آن‌ها گرمای مستقیمی را به فوتورزیست منتقل می‌کنند و این کار باعث یکنواخت شدن پروفایل حرارتی در سراسر ویفر می‌شود.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟</strong><br> ما لامپ‌های تابش نزدیک‌بنفش را طوری تنظیم کرده‌ایم که بتوانند با کنترل طول موج، پروفایل حرارتی فوتورزیست را کنترل کنند. در سراسر سطح ویفر، استабیلیته دمایی در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حاصل می‌شود؛ همچنین کنترل سرعت گرم شدن نیز در محدوده زیر چند ثانیه انجام می‌شود. پوشش کوارتزی و ساختار فیلامنت، مانع از تولید ذرات و خروج گازها می‌شود؛ بنابراین تعداد ذرات در اتاق‌های پاک، در محدوده کلاس ۱ تا ۱۰۰ باقی می‌ماند. در عمل، این امر به معنای پخت مداوم و یکنواخت فوتورزیست است؛ همچنین تبخیر حلال‌ها نیز یکنواخت است. تراکم انرژی نیز برای هماهنگی با سرعت لیتوگرافی تنظیم شده است؛ همچنین ساختار لامپ نیز مطابق با استانداردهای مربوطه است و قابلیت کارکرد ۲۴/۷ را دارد.</p>