Arrêtez de surchauffer vos équipements
Si vous avez déjà travaillé dans une usine de semi-conducteurs, vous connaissez les difficultés liées à ce problème. Il est nécessaire de chauffer le wafer ou le substrat à une température élevée, mais il ne faut pas que le reste de l’équipement se transforme en four.
Les chauffages rayonnants traditionnels sont plutôt problématiques : ils diffusent la chaleur partout. En peu de temps, les parois intérieures deviennent brûlantes, ce qui provoque des arrêts de fonctionnement de l’équipement. De plus, les pièces sensibles sont endommagées. C’est vraiment un problème.
Nous résolvons ce problème en utilisant des lampes infrarouges à ultra-haute pureté.
Diriger la chaleur là où elle doit aller
Pensez-y comme à la différence entre une ampoule et une lampe de poche : au lieu de diffuser la lumière dans toutes les directions, nous utilisons des technologies infrarouges à ondes courtes. En ajustant la géométrie du filament et en ajoutant des réflecteurs internes, nous orientons le flux de chaleur directement vers la cible. Ainsi, l’énergie reste concentrée sur la pièce à traiter, tandis que les parois restent froides. C’est simple.
La question de la pureté (et les pièges)
Lorsque l’on travaille dans une chambre sous vide, la contamination est un gros problème. Même une petite quantité de gaz peut tout gâcher. C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour fabriquer les enveloppes des lampes. Aucun ion métallique, donc pas de problèmes.
De plus, ces lampes fonctionnent très rapidement : on atteint rapidement la température souhaitée.
Mais attention : il faut contrôler la densité de puissance. Si vous mettez trop de watts dans un espace limité, vos connecteurs risquent d’être endommagés. Si votre système de refroidissement ne suffit pas à gérer la puissance de la lampe, vos prises électriques seront détruites.
Utilisation en conditions réelles
Le meilleur aspect ? Les parois intérieures cessent de fonctionner comme des dissipateurs de chaleur et deviennent simplement des zones neutres. Cela rend l’équipement beaucoup plus sûr lorsque des techniciens doivent y intervenir pour des raisons de maintenance. De plus, le système de refroidissement n’a plus besoin de travailler autant.
Il y a cependant un piège : l’alignement est essentiel. Si la lampe n’est pas parfaitement alignée, elle ne cible pas bien sa cible et la chaleur est dispersée ailleurs. Il faut donc l’ajuster parfaitement pour bénéficier des avantages de cette technologie.