Manchon en quartz pour lampe IR de fabrication

Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800

Sur le plan de lithographie, les étapes de soft bake et hard bake ne laissent aucune marge de négociation. Le photoresist se comporte exactement comme le budget thermique l’exige — sans exception. Si la lampe IR est faible ou instable, il n’y a pas de seconde chance. Le résultat : variation de largeur de ligne, résidus et rebut.

Vous traitez des wafers de 300 mm dans une boucle stricte — dépôt, cuisson, exposition, développement. Le profil thermique doit se répéter d’un wafer à l’autre, d’un lot à l’autre. Lorsque le logement de la lampe chauffe, le point de consigne dérive. Quand la gaine transmet de manière inégale, le bord subit une température différente du centre. L’équipement peut compenser, mais la fenêtre process se réduit.

Quartz on China Infrared Heating Manufacturer

Manchon en quartz pour lampe IR de fabrication