בשלב האפייה, האפייה אינה רק הפסקה בתהליך – זו גבול ברור שמחדד את השליטה בממדים החשובים של השבב. האפייה הרכה והאפייה הקשה קובעות את התנאים הנדרשים לשליטה בממדים, להורדת החומרים המומסים, ולהידבקות החומר הפוטורזיסטי לשבב. אם הלוח החם יסט, או אם נקודת הטמפרטורה המוגדרת תשתנה, האיכות של השבב תיפגע. זו בדיוק הסיבה שאנו משתמשים במודולי חימום באינפרא-אדום – הטמפרטורה אינה רק ערך שנמדד, אלא מגבלה שצריך לשמור עליה.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה. החום מגיע דווקא למקום הנכון, מבלי לפגוע בחלקים האחרים של השבב. האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C לאורך כל תהליך האפייה, כך שרוחב השבב והפרופיל שלו נשארים קבועים בכל סדרת ייצור. החימום נשלט באמצעות מערכת של משוב סגור, כך שהטמפרטורה נשארת קבועה הן עבור שבבים בגודל 150 ממ והן עבור שבבים בגודל 200 ממ. מודולים אלו נוצרו עבור חדרי ייצור מסוג Class 1–100, תוך שימוש בחומרים עם פליטה נמוכה של חומרים מזהמים, ועם עיצוב שמפחית את ייצור החלקיקים.
למה הם עובדים טוב בפועל? בתהליכי ליתוגרפיה, המודולים האלו מותקנים בתחנות האפייה בצורה חלקה, ללא בעיות עם הרובוטים. כך נשמרת אחידות בהתנהגות החומר הפוטורזיסטי – יש פחות בעיות, פחות פגמים, ופחות צורך בעבודות תיקון. צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שאנו מחממים רק את השבב עצמו, ולא את כל החדר. זמן הפעולה של המערכת משתפר גם הוא – המערכת יכולה לפעול 24/7 עם תחזוקה צפויה, כך שאין עצירות בלתי צפויות שעלולות לעכב את התהליך.
מה צריך לתכנן? ההתקנה כוללת התאמה של המודולים למאפיינים המכניים של המערכת ושל חיבורי האינטרפייס. יש לצפות לזמן קצר לכיוון המודולים ולשליטה בטמפרטורה. הגלאים עשויים להחזיק מעמד לאורך זמן, אך הם אינם נצחיים – יש לתכנן החלפתם במהלך התחזוקה המונעת, כדי שהאחידות של הטמפרטורה לא תיפגע.