חימום ממוקד למפעלי ייצור שבבים מתקדמים

בשטח הייצור, שינוי של 0.3°C בטמפרטורה של הוופר יכול לגרום לשינוי ברמת ה-CD, לעיוותים בשכבת הפוטורזיסט, ולחריגה מהטמפרטורה האופטימלית שלה. אין אורות...