http://ir-heat-china.com/he/tags/%D7%9E%D7%AA%D7%A7%D7%93%D7%9D/ Recent content in מתקדם on China Infrared Heating Manufacturer Hugo he Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/he/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/he/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="חימום ממוקד למפעלי ייצור שבבים מתקדמים"></p> <p>בשטח הייצור, שינוי של 0.3°C בטמפרטורה של הוופר יכול לגרום לשינוי ברמת ה-CD, לעיוותים בשכבת הפוטורזיסט, ולחריגה מהטמפרטורה האופטימלית שלה. אין אורות אזהרה – רק חומרים שאי אפשר להשתמש בהם, וצורך בטיפול דחוף מצד מחלקת הליתוגרפיה.</p> <h2 id="מה-באמת-חשוב">מה באמת חשוב</h2> <p>יצרנו מערכת חימום ממוקדת, המאפשרת שליטה עצמאית על כל אזור חימום בנפרד. כל אזור מחומם על ידי גלאי NIR בעל תגובה מהירה, עם פרופיל טמפרטורה יציב, כך שניתן לשמור על טמפרטורה עקבית בטווח של 150–300°C, עם שונות של ±0.1°C ברמת הוופר.</p>