वेफर की सतह पर, लिथोग्राफी से पहले होने वाले सूखने के चरण में ही उत्पादन दर पर निर्णायक प्रभाव पड़ता है… और यह प्रभाव बहुत ही महत्वपूर्ण होता है। फोटोरेजिस्ट के अवशेष, पानी के निशान, किनारों पर होने वाली समस्याएँ – इन सबका कारण आमतौर पर प्लेट के तापमान में होने वाले उतार-चढ़ाव, तापमान नियंत्रण में कमी, या उपकरण से निकलने वाले कण ही होते हैं। हमने “लैब-ऑन-ए-चिप ड्राइंग हीटर” बनाया है, ताकि ऐसी समस्याओं को दूर किया जा सके।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
यह उपकरण छोटी-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड तत्वों पर आधारित है; इसकी थर्मल डिज़ाइन भी उत्कृष्ट है। इसके कारण वेफर के सक्रिय क्षेत्र में तापमान में ±0.1°C की समानता बनी रहती है। बैच से बैच में तापमान में ±0.2°C की विविधता होती है… जिससे “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में स्थिरता बनी रहती है… जो कि फोटोरेजिस्ट संबंधी कार्यों हेतु आवश्यक है।
यह उपकरण क्लीनरूम क्लास 1–100 में भी कार्य कर सकता है… क्योंकि इसमें कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियाँ, सील्ड जंक्शन, एवं ऐसी व्यवस्था है जिससे संचालन के दौरान कणों की संख्या स्थिर रहती है। हमारी पायलट लाइनों में, यह हीटर 24/7 कार्य करता है… एवं ऊर्जा खपत भी लैब-ऑन-ए-चिप उपकरणों की ऊष्मा-आवश्यकताओं के अनुरूप ही है।
यह उपकरण वास्तविक उत्पादन प्रक्रियाओं के लिए क्यों उपयुक्त है?
लैब-ऑन-ए-चिप उत्पादन में समय बहुत ही महत्वपूर्ण है… इसलिए तेज़ सूखने की प्रक्रिया, तापमान नियंत्रण, एवं दूषण रहित प्रक्रिया आवश्यक है। यह उपकरण पुरानी हीटिंग प्लेटों एवं पुराने आईआर सिस्टमों का स्थान लेता है… एवं यह अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरण मानकों के अनुरूप ही है।
इसका परिणाम भी स्पष्ट है – बेहतर तापमान नियंत्रण, कम पुनर्कार्य, एवं नियमित प्रक्रिया। जब तापमान में उतार-चढ़ाव नहीं होता, तो प्रक्रिया में कोई समस्या नहीं आती… एवं अपर्याप्त/अत्यधिक तापमान के कारण होने वाली समस्याएँ भी दूर हो जाती हैं।
व्यावहारिक विवरण:
इस उपकरण को स्थापित करने हेतु 24 VDC वोल्टेज एवं स्वच्छ ग्राउंडिंग आवश्यक है… यदि आपके पास EMI-संवेदनशील उपकरण हैं, तो पहले ही इसकी व्यवस्था कर लें। हीटर तेज़ी से तापमान नियंत्रित करता है… लेकिन विभिन्न उपकरणों के लिए तापमान-नियंत्रण दर अलग-अलग होती है… इसलिए अपने विशिष्ट उपकरण के अनुसार ही इसकी सेटिंग करें।
हम मानक इंटरफेस प्रदान करते हैं… लेकिन गैर-मानक उपकरणों हेतु विशेष व्यवस्था आवश्यक है। यदि आप इसकी सही तरह से स्थापना कर लें, तो आपको नियमित एवं विश्वसनीय प्रदर्शन ही मिलेगा।