http://ir-heat-china.com/hi/tags/%E0%A4%A6%E0%A5%80%E0%A4%AA%E0%A4%95/ Recent content in दीपक on China Infrared Heating Manufacturer Hugo hi Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/hi/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/hi/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="फैब IR लैंप के लिए क्वार्ट्ज स्लीव"></p> <p>लिथोग्राफी फ्लोर पर, सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक में कोई समझौता नहीं होता। फोटोरेसिस्ट वैसा ही व्यवहार करता है जैसा थर्मल बजट उसे बताता है—कोई अपवाद नहीं। यदि IR लैंप कमजोर या असंगत है, तो दोबारा मौका नहीं मिलता। परिणामस्वरूप लाइन-विथ में भिन्नता, स्कम और स्क्रैप होता है।<br> आप 300 mm वेफर्स को एक सख्त चक्र से गुजार रहे हैं—कोट, बेक, एक्सपोज़, डेवलप। थर्मल प्रोफाइल को वेफर से वेफर, लॉट से लॉट दोहराना होता है। जब लैंप हाउसिंग गर्म हो जाती है, तो सेटपॉइंट डिफ्ट करता है। जब स्लीव असमान रूप से ताप संचारित करता है, तो किनारा केंद्र से अलग तापमान देखता है। टूल समायोजन कर सकता है, लेकिन प्रोसेस विंडो सिकुड़ जाती है।<br> फैब IR लैंप्स के लिए क्वार्ट्ज स्लीव एक उपभोग्य वस्तु नहीं है जिसे सहा जाए। यह आपके हीट सोर्स और फोटोरेसिस्ट के बीच इंटरफेस है। यह यूनिफॉर्मिटी, रिपीटेबिलिटी और अपटाइम निर्धारित करता है।</p>