Bola pemancar cahaya inframerah dekat (NIR)

Thu, 25 Jun 2026 04:57:55 +0800

Di lantai produksi, fluktuasi suhu selama proses pemanasan fotoresist bukanlah hal yang teoretis saja. Fluktuasi tersebut berdampak pada variasi lebar garis dan penurunan tingkat keberhasilan proses produksi. Peralatan pemanas konvensional sulit mengatasi masalah ketidakteraturan suhu, terutama di bagian tepi wafer. Bulb peluruhan cahaya inframerah dekat dirancang untuk mengatasi masalah ini; cahaya panas yang dihasilkannya dapat meratakan pola suhu di seluruh permukaan wafer.

Yang penting secara teknis:
Kami menyetel bulb peluruhan cahaya inframerah dekat sedemikian rupa sehingga suhu yang dihasilkan sesuai dengan kebutuhan fotoresist, dengan kontrol panjang gelombang yang akurat dan tingkat keseragaman yang tinggi. Di seluruh permukaan wafer, stabilitas suhu mencapai ±0,1°C, dan kontrol proses berlangsung dalam waktu sub-detik. Lapisan kuarsa dan geometri filamen yang dirancang khusus membantu mengurangi pembentukan partikel dan pelepasan gas, sehingga jumlah partikel di ruang bersih tetap berada dalam kisaran Class 1–100. Dalam praktiknya, hal ini berarti proses pemanasan berjalan lebih efisien, dengan laju penguapan pelarut yang konsisten dan perilaku pengikatan antar molekul yang dapat diprediksi. Kepadatan daya disesuaikan agar sesuai dengan kapasitas produksi litografi. Selain itu, bentuk lampu tersebut cocok untuk digunakan 24/7.

(NIR) on China Infrared Heating Manufacturer

Bola pemancar cahaya inframerah dekat (NIR)