Lampada PVD (Deposizione Fisica da Vapori)

Wed, 03 Jun 2026 12:30:45 +0800

Sulla linea di produzione, un ciclo PVD si blocca quando la lampada si spegne, e la coda dei wafer resta ferma. Il budget termico deriva, lo spessore del film inizia a variare e la resa diminuisce prima che l’allarme venga risolto. Serve una sorgente di calore che segua il ritmo della linea, non una che lo imponga.

Cosa conta, tecnicamente
Abbiamo progettato queste lampade PVD attorno a un controllo termico ripetibile. Su tutto il wafer, l’uniformità è mantenuta entro ±0,1°C, utilizzando elementi a infrarossi a onda corta che rispondono rapidamente e restano stabili spettralmente. Parti in quarzo e guarnizioni ermetiche mantengono la generazione di particelle prossima allo zero—compatibili con cleanroom fino a Class 1–100. Sono certificate per funzionamento 24/7, con tracciamento della vita utile superiore a 5.000 ore e deriva inferiore al 5%. Le interfacce si integrano nelle footprint standard degli strumenti, e le specifiche elettriche sono conformi alle normative internazionali per apparecchiature semiconduttori.

(Fisico on China Infrared Heating Manufacturer

Lampada PVD (Deposizione Fisica da Vapori)