Manicotto in quarzo per lampada IR fab

Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800

Sulla linea di litografia, soft bake e hard bake non ammettono compromessi. Il photoresist si comporta esattamente come il budget termico stabilisce—senza eccezioni. Se la lampada IR è debole o irregolare, non c’è una seconda possibilità. Si ottengono variazioni nella larghezza delle linee, residui e scarti.
Si processano wafer da 300 mm in un ciclo stretto—spin coat, bake, esposizione, sviluppo. Il profilo termico deve essere ripetibile, wafer dopo wafer, lotto dopo lotto. Quando l’alloggiamento della lampada si surriscalda, il setpoint deriva. Se il manicotto trasmette in modo non uniforme, il bordo raggiunge una temperatura diversa rispetto al centro. Lo strumento può compensare, ma la finestra di processo si restringe.
Un manicotto in quarzo per lampade IR in fabbrica non è un consumo da tollerare. È l’interfaccia tra la fonte di calore e il photoresist. Determina uniformità, ripetibilità e uptime.

Manica on China Infrared Heating Manufacturer

Manicotto in quarzo per lampada IR fab