Lampada a infrarossi impermeabile per sciacquo

Thu, 18 Jun 2026 04:30:50 +0800

Nella fase di risciacquo, le tracce d’acqua e i problemi legati alla distribuzione del calore non sono solo questioni teoriche: influiscono negativamente sull’intero processo di produzione. Abbiamo quindi creato lampade a infrarossi impermeabili per eliminare queste incertezze durante la fase di essiccazione dei wafer e nelle fasi termiche successive.

Ciò che è importante
Utilizziamo emettitori a infrarossi a breve lunghezza d’onda all’interno di custodie sigillate e facili da pulire. Si tratta di un sistema di riscaldamento a contatto diretto, senza necessità di contatto fisico tra l’emettitore e il wafer. In questo modo si ottiene una uniformità di temperatura pari a ±0,1°C su tutta la superficie del wafer, garantendo così risultati ripetibili anche durante le fasi di trattamento del fotorestatore. Le variazioni di temperatura sono ridotte e controllate, il che permette di mantenere un equilibrio termico ottimale mentre i solventi vengono eliminati completamente. La testa della lampada può essere utilizzata in ambienti puliti di classe 1–100, e è progettata per non generare alcuna particella: nessuna emissione di gas, nessun fenomeno di sfaldamento, nessuna contaminazione lungo il percorso del wafer.

Sciacqua on China Infrared Heating Manufacturer

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