http://ir-heat-china.com/ja/tags/%E3%82%BE%E3%83%BC%E3%83%B3%E5%88%86%E3%81%91%E3%81%95%E3%82%8C%E3%81%A6%E3%81%84%E3%82%8B/ Recent content in ゾーン分けされている on China Infrared Heating Manufacturer Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="先端ウェーハファブ向けのゾーン制御式加熱システム"></p> <p>ファブの現場では、ウエハ全体で0.3℃の温度差が生じるだけで、CDの値が変動したり、オーバーレイが発生したり、フォトレジストがその許容範囲を超えてしまったりします。警告灯はなく、結果として不良品が生じ、リソグラフィー部門から緊急の連絡が入ります。</p>