http://ir-heat-china.com/ja/tags/%E3%83%A9%E3%83%9C/ Recent content in ラボ on China Infrared Heating Manufacturer Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 04:18:24 +0800 http://ir-heat-china.com/ja/posts/lab-on-a-chip-drying-heater/ Wed, 24 Jun 2026 04:18:24 +0800 http://ir-heat-china.com/ja/posts/lab-on-a-chip-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="チップ上のラボ用乾燥ヒーター"></p> <p>ウェーハの製造工程において、リソグラフィーを行う前の乾燥工程は、歩留まりに大きな影響を与えます。フォトレジストの残留物や水分の問題、端の不具合などは、ほとんどの場合、プレートの温度変動や温度制御の不良、あるいは装置自体から発生する粒子に起因しています。私たちは、こうした問題を解決するために「Lab-on-a-Chip乾燥ヒーター」を開発しました。</p>