http://ir-heat-china.com/ja/tags/%E8%96%84%E5%8C%96/ Recent content in 薄化 on China Infrared Heating Manufacturer Hugo ja Tue, 09 Jun 2026 03:46:17 +0800 http://ir-heat-china.com/ja/posts/wafer-thinning-heating-infrared/ Tue, 09 Jun 2026 03:46:17 +0800 http://ir-heat-china.com/ja/posts/wafer-thinning-heating-infrared/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ウェーハ薄化加熱赤外線"></p> <p>ファブフロアにおいて、ウェーハの薄化<a href="https://o-yate.net">工程</a>は熱に対して非常にセンシティブな作業である。赤外線加熱中の熱分布が不均一だと、ウェーハの変形を引き起こすだけでなく、反り、フォトレジストの応力、リソグラフィやパッケージング工程で後に顕在化する微細な亀裂などの不良発生要因となり、歩留まり損失につながる。熱源はウェーハ<a href="https://henruite.com">全体</a>を一つの再現性のある熱領域として均一に処理できる必要がある。</p> <p><strong>技術的なポイント</strong><br> 当社の短波赤外線加熱モジュールは、基板全体でウェーハレベルの均一性を±0.1℃以内に保持し、応答速度は2秒未満、室温から450℃までの安定した設定温度を実現している。エミッターアレイは反射器形状の中でクォーツハロゲン素子を使用し、ホットスポットを<a href="https://o-yate.com">最小限</a>に抑えている。熱システムはClass 1–100のクリーンルーム環境に対応し、定常状態では粒子発生がゼロである。温度の再現性は5,000時間以上の連続稼働でも±0.5℃以内に保たれ、ソフトベイクおよびハードベイクにおけるフォトレジストのプロファイルを一定に維持する。</p>