http://ir-heat-china.com/ja/tags/%E8%A2%96/ Recent content in 袖 on China Infrared Heating Manufacturer Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/ja/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/ja/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ファブIRランプ用クォーツスリーブ"></p> <p>リソグラフィ工程において、ソフトベークとハードベークは妥協を許さない。フォトレジストは熱予算が指示する通りに振る舞い、例外はない。IRランプの出力が弱い、または不安定であれば、やり直しはできない。ライン幅のばらつき、残渣、廃棄が発生するだけだ。 300 mmウェハをタイトなループで処理している—塗布、ベーク、露光、現像。熱プロファイルはウェハごと、ロットごとに再現されなければならない。ランプハウジングが過熱すると設定点がドリフトし、スリーブの透過が不均一だとエッジ部は中央部とは異なる温度になる。装置は補正可能だが、プロセスウィンドウが狭まる。 ファブIRランプ用の石英スリーブは、消耗品として我慢するものではない。熱源とフォトレジストの間のインターフェースであり、均一性、再現性、稼働率を決定づける。</p>