http://ir-heat-china.com/ko/tags/%EA%B5%AC%EC%97%AD%EB%B3%84%EB%A1%9C-%EB%B6%84%EB%A5%98%EB%90%A8/ Recent content in 구역별로 분류됨 on China Infrared Heating Manufacturer Hugo ko Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/ko/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/ko/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="첨단 웨이퍼 제조 공장을 위한 지역별 난방 시스템"></p> <p>팹 내에서는 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.3°C의 온도 변화만으로도 CD가 변동되고, 포토레지스트가 그 열적 한계를 초과하게 됩니다. 경고등도 없으며, 결과적으로 웨이퍼는 폐기될 수밖에 없습니다. 이때 리소그래피 부서로부터 긴급한 호출이 들어옵니다.</p>