http://ir-heat-china.com/ko/tags/%EC%99%80%ED%8D%BC/ Recent content in 와퍼 on China Infrared Heating Manufacturer Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 09:03:56 +0800 http://ir-heat-china.com/ko/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:03:56 +0800 http://ir-heat-china.com/ko/posts/post-cleaning-wafer-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="청소 후 웨이퍼용 적외선 히터"></p> <p>제조 공장에서는 세척 후 단계에서 생산 효율이 급격히 떨어질 수 있습니다. 웨이퍼가 세척 또는 헹굼 과정을 거친 후에도 표면에는 여전히 미세한 요철과 수분이 남아 있습니다. 만약 그 다음 단계인 가열 과정에서 약간의 오차가 생기면, 용매가 남아 있게 되고, 포토레지스트의 접착력도 변하며, 중요한 치수 제어도 어려워집니다. 저희는 이러한 문제를 해결하기 위해 세척 후 웨이퍼를 가열하는 인피라레드 히터를 개발했습니다.</p> http://ir-heat-china.com/ko/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/ko/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="첨단 웨이퍼 제조 공장을 위한 지역별 난방 시스템"></p> <p>팹 내에서는 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.3°C의 온도 변화만으로도 CD가 변동되고, 포토레지스트가 그 열적 한계를 초과하게 됩니다. 경고등도 없으며, 결과적으로 웨이퍼는 폐기될 수밖에 없습니다. 이때 리소그래피 부서로부터 긴급한 호출이 들어옵니다.</p>