http://ir-heat-china.com/ko/tags/%ED%8C%A8%EB%B8%8C/ Recent content in 패브 on China Infrared Heating Manufacturer Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/ko/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/ko/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="패브 IR 램프용 쿼츠 슬리브"></p> <p>리소그래피 라인에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 타협하지 않는다. 포토레지스트는 열처리 조건에 따라 행동하며 예외는 없다. IR 램프가 약하거나 불안정하면 재작업이 불가능하다. 그 결과 라인폭 편차, 불순물 잔류, 불량이 발생한다.<br> 300 mm 웨이퍼를 코팅, 베이크, 노광, 현상이라는 엄격한 공정 루프에 투입하고 있다. 열 프로파일은 웨이퍼마다, 로트마다 반복되어야 한다. 램프 하우징이 과열되면 설정점이 변동한다. 쿼츠 슬리브가 불균일하게 열을 전달하면 가장자리와 중앙의 온도가 달라진다. 장비가 보정할 수 있지만 공정 윈도우가 좁아진다.<br> FAB IR 램프용 쿼츠 슬리브는 소모품으로 그냥 넘길 수 있는 부품이 아니다. 열원과 포토레지스트 사이의 인터페이스 역할을 한다. 균일성, 반복성, 가동 시간을 결정한다.</p>