http://ir-heat-china.com/ko/tags/ir/ Recent content in IR on China Infrared Heating Manufacturer Hugo ko Tue, 28 Jul 2026 05:13:50 +0800 http://ir-heat-china.com/ko/posts/maximizing-ir-energy-density-in-wafer-processing-via-gold-coated-reflectors/ Tue, 28 Jul 2026 05:13:50 +0800 http://ir-heat-china.com/ko/posts/maximizing-ir-energy-density-in-wafer-processing-via-gold-coated-reflectors/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="IR 램프용 알루미늄 반사체"></p> <p>왜 금코팅된 반사체가 실리콘 웨이퍼에 있어서 그토록 중요한지<br> 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 낭비되는 에너지는 곧 돈의 손실을 의미합니다.<br> 대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사체를 사용합니다. 물론 저렴하긴 하지만 문제가 있습니다. 알루미늄은 적외선의 전체 스펙트럼을 제대로 반사하지 못합니다. 너무 많은 에너지가 그대로 빠져나갑니다. 우리는 금코팅을 통해 이러한 문제를 해결하여, 모든 에너지가 웨이퍼에 정확히 전달되도록 합니다.</p> http://ir-heat-china.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Fri, 10 Jul 2026 12:30:20 +0800 http://ir-heat-china.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="웨이퍼용 고정밀 IR 센서"></p> <p>공장 내 탄소 배출량 줄이기: 정밀한 적외선 가열이 효과적인 이유<br> 요즘에는 “친환경 공장”에 대한 이야기가 많습니다. 하지만 반도체 공장을 운영하는 사람이라면, 탄소 배출량을 줄이는 것이 결국 한 가지 요소에 달려 있다는 것을 알고 있습니다. 바로 열을 어떻게 처리하느냐 하는 것입니다.</p> http://ir-heat-china.com/ko/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/ko/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="패브 IR 램프용 쿼츠 슬리브"></p> <p>리소그래피 라인에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 타협하지 않는다. 포토레지스트는 열처리 조건에 따라 행동하며 예외는 없다. IR 램프가 약하거나 불안정하면 재작업이 불가능하다. 그 결과 라인폭 편차, 불순물 잔류, 불량이 발생한다.<br> 300 mm 웨이퍼를 코팅, 베이크, 노광, 현상이라는 엄격한 공정 루프에 투입하고 있다. 열 프로파일은 웨이퍼마다, 로트마다 반복되어야 한다. 램프 하우징이 과열되면 설정점이 변동한다. 쿼츠 슬리브가 불균일하게 열을 전달하면 가장자리와 중앙의 온도가 달라진다. 장비가 보정할 수 있지만 공정 윈도우가 좁아진다.<br> FAB IR 램프용 쿼츠 슬리브는 소모품으로 그냥 넘길 수 있는 부품이 아니다. 열원과 포토레지스트 사이의 인터페이스 역할을 한다. 균일성, 반복성, 가동 시간을 결정한다.</p>