Di bilik pembakaran tersebut, proses pembakaran bukanlah sesuatu yang boleh dihentikan seketika; ia merupakan proses yang berlaku secara berterusan. Proses pembakaran jenis “soft bake” dan “hard bake” memainkan peranan penting dalam mengawal dimensi komponen yang dibuat, serta memastikan bahan pelarut dapat dikeluarkan dengan efektif, dan bahan fotoresist dapat melekat dengan baik pada permukaan wafer. Jika suhu pada papan pemanas berubah, atau nilai suhu yang ditetapkan tidak stabil, maka kualiti produk akan menurun. Itulah sebabnya kami menggunakan modul pemanasan inframerah: suhu bukan sekadar angka yang ditunjukkan, tetapi merupakan faktor penting yang perlu dikawal dengan ketat.
Apa yang penting dari segi teknikal:
Kami menggunakan pengeluhar sinar inframerah gelombang pendek yang dilengkapi dengan unsur kuarsa yang responsif. Panas yang dihasilkan akan sampai ke tempat yang diperlukan, tanpa merosakkan bahagian sekelilingnya. Kekonsistenan suhu pada tahap wafer adalah sekitar ±0.1°C sepanjang proses pembuatan. Dengan cara ini, lebar garis dan bentuk wafer akan tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain. Proses pemanasan dan penyejukan dikendalikan melalui sistem umpan balik tertutup, agar suhu tetap stabil untuk wafer berukuran 150 mm dan 200 mm. Modul-modul ini direka khusus untuk digunakan di bilik bersih kelas 1–100, menggunakan bahan-bahan yang menghasilkan sedikit gas, serta reka bentuk yang dapat mengurangkan pembentukan zarah-zarah halus.
Mengapa ia berkesan dalam proses litografi sebenar:
Dalam proses litografi, modul ini boleh digunakan tanpa gangguan daripada sistem robotik. Ini memastikan prestasi bahan fotoresist menjadi lebih konsisten, mengurangkan masalah berkaitan kualiti produk, serta mengurangkan keperluan untuk membaiki produk yang rosak. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana panas hanya dihasilkan pada lapisan fotoresist sahaja, bukan pada seluruh ruang dalam bilik tersebut. Masa operasi sistem juga meningkat, kerana sistem dapat beroperasi 24/7 dengan penyelenggaraan yang teratur, sehingga tidak ada gangguan yang menyebabkan proses produksi terhenti.
Apa yang perlu dirancang:
Proses pemasangan memerlukan pemadanan antara komponen mekanikal dan sambungan antara modul tersebut dengan sistem litografi yang digunakan. Anda perlu menunggu sedikit masa untuk menyesuaikan kadar pemanasan dan memastikan suhu tetap stabil. Pengeluhar sinar inframerah ini mempunyai jangka hayat yang panjang, namun ia juga perlu diganti dari semasa ke semasa semasa penyelenggaraan pencegahan, agar konsistensi suhu tetap terjaga.