Mengapa kita meninggalkan penggunaan udara panas dan beralih kepada gelombang inframerah
Jika anda masih menggunakan udara panas untuk proses pemprosesan semikonduktor, sebenarnya anda sedang membuang masa sahaja. Udara panas bergantung pada konveksi – anda memanaskan udara, lalu berharap agar udara tersebut dapat memanaskan komponen yang sedang diproses. Proses ini sangat lambat. Anda perlu menunggu sehingga haba sampai ke komponen tersebut.
Gelombang inframerah pula berbeza. Ia tidak memerlukan udara sebagai perantara. Sebaliknya, ia menghantar gelombang elektromagnetik terus ke permukaan bahan yang diproses. Proses ini lebih cepat dan tepat.
Waktu adalah faktor penting dalam bilik bersih
Dalam bilik bersih, setiap saat yang dibazirkan untuk menunggu suhu mencapai tahap yang diinginkan merupakan kerugian besar dari segi kos. Dengan penggunaan udara panas, proses pemanasan memakan masa yang lama. Namun dengan gelombang inframerah, suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam beberapa saat sahaja. Anda tidak perlu menunggu udara panas sampai ke komponen tersebut. Ini bermakna proses pemprosesan dapat dilakukan dengan lebih cepat, dan mesin yang digunakan juga boleh dibuat lebih kecil kerana tidak perlu menggunakan tangki udara panas yang besar.
Reka bentuk yang canggih
Kita tidak sekadar meletakkan lampu di dalam kotak sahaja. Kita membina bekas pelindung daripada keluli tahan karat berkualiti tinggi. Yang penting ialah reka bentuknya agar gelombang inframerah dapat dipantulkan kembali ke permukaan komponen yang diproses. Ini memastikan haba tetap berada di tempat yang sepatutnya, iaitu pada komponen tersebut, bukannya meresap ke bahagian lain.
Namun, ada masalah yang perlu dihadapi: fizik. Keluli tahan karat dan lampu kuarsa tidak mengembang pada kadar yang sama apabila dipanaskan. Jika lampu tersebut dipasang terlalu ketat, ia akan pecah semasa proses pemanasan berlaku. Ini merupakan masalah yang serius.
Untuk mengelakkan hal ini, kita menggunakan sistem “float” dalam braket pemasangan lampu tersebut. Ini memberi ruang kepada bahan-bahan tersebut untuk “bernafas”, supaya tiada apa yang pecah.
Kelemahan gelombang inframerah
Gelombang inframerah bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ia mempunyai kelemahan tersendiri. Kelemahan utamanya ialah “garis pandangan”. Memandangkan ia merupakan haba yang bersifat radiasi, jika sebahagian daripada komponen tersebut tersembunyi atau berada dalam bayangan, ia tidak akan menerima haba tersebut. Akibatnya, bahagian tersebut akan tetap sejuk, sementara bahagian lain masih panas.
Untuk mengatasi masalah ini, kita perlu memastikan lampu tersebut diletakkan pada sudut yang sesuai. Kita biasanya menggunakan susunan lampu yang membolehkan haba sampai ke setiap sudut komponen tersebut. Walaupun memerlukan rancangan yang lebih teliti, namun kelajuan proses pemprosesan yang diperoleh sangat berbaloi.