Op de productielijn is het bakproces geen tijdelijke pauze, maar eerder een belangrijke stap in het procesverloop. Zowel het zachte als het harde bakproces spelen een cruciale rol bij het bepalen van de nauwkeurigheid van de afmetingen, het voorkomen van het oplossen van oplosmiddelen en de hechting van de fotoresist. Als de hete plaat zich verschuift of als de ingestelde temperatuur niet consistent blijft, neemt de kwaliteit van het eindproduct snel af. Precies daarom hebben we infraroodverwarmingsmodules ontworpen: temperatuur is niet alleen een cijfer, maar ook een belangrijke factor die moet worden gereguleerd.
Wat technisch gezien belangrijk is
We maken gebruik van kortegolf-infraroodemitters met kwartscomponenten die snel kunnen reageren. De warmte komt precies waar het nodig is, zonder dat de omringende delen beschadigen. De evenwichtigheid van de temperatuur op het waferoppervlak blijft binnen ±0,1°C, zodat de dikte en vorm van het wafer consistent blijven, ongeacht het type wafer. Het proces wordt geregeld met behulp van een gesloten feedbacklus, zodat de thermische omstandigheden consistent blijven voor zowel 150 mm- als 200 mm-wafers. Deze modules zijn ontworpen voor gebruik in zuiverruimtes van klasse 1–100, waarbij gebruik wordt gemaakt van materialen met minimale uitstoot en een ontwerp dat de kans op het ontstaan van deeltjes beperkt.
Waarom deze modules werken in echte productielijnen
In lithografielijnen kunnen deze modules gemakkelijk worden geïnstalleerd in de bakstations, zonder dat dit problemen oplevert voor de robotica. Hierdoor blijft de prestatie van de fotoresist consistent: minder problemen met de resistentlaag, minder defecten en minder herwerkzaamheden. De energieverbruik neemt ook af, omdat alleen de resistentlaag wordt verhit en niet de hele kamer. De beschikbaarheid van het systeem verbetert ook: het systeem kan 24/7 draaien, mits er regelmatig onderhoud wordt uitgevoerd. Hierdoor komen er geen onverwachte stilstanden die het proces kunnen verstoren.
Wat je moet overwegen bij de planning
Voor de installatie moet je rekening houden met de mechanische eigenschappen en de connectoren die passen bij jouw specifieke productielijn of coatingapparaat. Er zal waarschijnlijk een korte tijd nodig zijn om de instellingen af te stellen en ervoor te zorgen dat de temperatuur consistent blijft. De emitters hebben een lange levensduur, maar ze zijn niet eeuwig houdbaar. Plan daarom vervangingen in tijdens het preventieve onderhoud, zodat de temperatuurregulering altijd optimaal blijft.