Het correct bepalen van de thermische belastingen met vergulde dubbelbuismodellen IR-lampen
Als je werkt in een halfgeleiderfabriek, weet je hoe moeilijk het is om de thermische parameters precies op het gewenste niveau te houden, zodat er geen gasvorming en oxidatie optreedt. Het is een kwestie van evenwicht vinden. We hebben ontdekt dat het gebruik van vergulde dubbelbuismodellen IR-lampen een veel effectievere manier is om deze doelstellingen te bereiken – vooral omdat deze lampen minder energieverlies veroorzaken vergeleken met de ouderwetse convectieovens.
Het geheim zit in het goud
Standaard kwartslampen geven een breed spectrum aan warmte af. Maar wanneer we het goudlaagje toevoegen aan de dubbele buis, wordt de lange golflengtestraling weer teruggeleid naar de filaments. Wat heeft dit nu voor effect? Het zorgt ervoor dat alle energie naar het korte golflengtebereik gaat. Korte golfslengtes hebben als voordeel dat ze sneller door materialen heen dringen en minder afstand nodig hebben om warmte over te dragen. Hierdoor krijg je een veel hogere warmtestroom recht op het oppervlak van de wafer.
Het gaat snel. Heel snel zelfs. Hierdoor bereikt het systeem de gewenste temperatuur veel eerder.
Meer vermogen, minder ruimte
Het dubbelbuismodel is een goede oplossing om meer ruimte te besparen. Door twee filaments in één kwartsomhulsel te plaatsen, verdubbelt zich in feite het oppervlak dat warmte afgeeft, zonder dat de lamp langer wordt. Dit is erg handig, want zo kan je de verwarmingskamer kleiner maken. Minder volume, maar meer warmte.
Eén waarschuwing: let goed op je stroomvoorziening. Deze lampen vereisen veel stroom. Als je bedrading niet goed genoeg is, kun je te maken krijgen met spanningsschommelingen. Dit leidt tot ongelijkmatige verarming van de wafer, wat je natuurlijk wilt voorkomen.
En het “groene” aspect?
Iedereen praat tegenwoordig over de koolstofvoetafdruk en de energie die wordt verbruikt wanneer apparaten niet worden gebruikt. Hier is het goede nieuws: vergulde lampen reageren bijna onmiddellijk. Je hoeft die lange voorverwarmingscycli dus niet meer te gebruiken. Snellere opwarmtijden en snellere afkoeltijden betekenen dat je minder energie per wafer hoeft te gebruiken. Dat is zowel goed voor je financiën als voor het milieu.
Eén laatste tip: houd de standaarden in je schone ruimte strikt in acht. Als chemische dampen het goudlaagje beschadigen, kan de reflecterende laag defect raken. Dan daalt de efficiëntie en stijgen de energiekosten weer. Houd het schoon, dan blijven de lampen goed functioneren.