http://ir-heat-china.com/nl/tags/mouw/ Recent content in Mouw on China Infrared Heating Manufacturer Hugo nl Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/nl/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/nl/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Kwarts huls voor fab IR lamp"></p> <p>Op de lithografievloer zijn soft bake en hard bake niet onderhandelbaar. Photoresist gedraagt zich precies volgens het thermische budget—geen uitzonderingen. Is de IR-lamp zwak of inconsistent, dan is er geen tweede kans. Dan krijg je lijnbreedtevariaties, residu en afval.</p> <p>Je verwerkt 300 mm wafers in een strakke cyclus—coaten, bakken, belichten, ontwikkelen. Het thermische profiel moet telkens identiek zijn, wafer na wafer, batch na batch. Loopt de lampbehuizing warm, dan zakt het ingestelde punt weg. Geeft de sleeve ongelijkmatige transmissie, dan ervaart de rand een andere temperatuur dan het midden. De machine kan corrigeren, maar het procesvenster wordt kleiner.</p>