Na linii produkcyjnej etap wypalania nie stanowi przerwy – to raczej wyraźna granica w procesie produkcyjnym. Proces delikatnego i intensywnego wypalania wpływa na kontrolę wymiarów elementów, efektywne usuwanie rozpuszczalników oraz przyczepność fotorezystu do powierzchni płytki krzemowej. Jeśli temperatura na płycie grzewczej się zmienia, lub jeśli wartość temperatury jest zbyt wysoka, to jakość produktu spada. Właśnie dlatego stworzyliśmy moduły grzewcze podczerwieni: temperatura to nie tylko wartość mierzona, to także parametr, który musi być ściśle kontrolowany.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Korzystamy z emiterów podczerwieni o krótkiej długości fali, wyposażonych w szybko reagujące elementy kwarcowe. Ciepło trafia dokładnie tam, gdzie jest potrzebne, bez uszkadzania otaczających elementów. Jednorodność temperatury na powierzchni płytki krzemowej wynosi ±0,1°C, dzięki czemu szerokość linii i jej kształt są stałe w każdej partii produktów. Proces nagrzewania i utrzymywania określonej temperatury jest kontrolowany za pomocą Systemu Obrotu Zamkniętego, co zapewnia stabilność temperatury zarówno dla płytek o średnicy 150 mm, jak i 200 mm. Te moduły są przeznaczone do użytku w pomieszczeniach klasy 1–100, przy użyciu materiałów o niskiej emisji gazów oraz takiego projektu, który minimalizuje powstawanie cząstek.
Dlaczego te moduły sprawdzają się w rzeczywistych warunkach produkcji? W procesach litografii moduły te mogą być łatwo zamontowane na stanowiskach wypalania, bez konieczności dostosowywania ich do specyfiki robotyków. Dzięki temu zachowanie fotorezystu jest bardziej przewidywalne – mniej problemów z jego przyklejeniem, mniej defektów i mniej konieczności ponownej obróbki. Zużycie energii jest mniejsze, ponieważ grzejemy sam film, a nie całą komorę. Czas pracy systemu również się poprawia – system może pracować 24/7 przy regularnej konserwacji, więc unikamy nagłych awarii, które mogą sparaliżować produkcję.
Co należy uwzględnić podczas planowania? Instalacja polega na dopasowaniu mechanicznych elementów oraz złączy do specyfiki danego urządzenia. Oczekiwać można krótkiego okresu konfiguracji, aby ustawić odpowiednie parametry i kontrolować wartości temperatury. Emittery mają długą żywotność, ale nie są wieczne – należy planować ich wymianę w ramach przerw konserwacyjnych, aby zachować stałość temperatury.