No chão de trabalho, a etapa de secagem antes da litografia pode determinar diretamente o rendimento do processo, e isso de maneira bastante significativa. Resíduos de fotorresistente, marcas causadas pela umidade, problemas relacionados às bordas dos wafers – na maioria das vezes, esses problemas podem ser atribuídos à variação da temperatura do equipamento, ao controle inadequado da temperatura ou à presença de partículas provenientes do próprio equipamento. Criamos o aquecedor de secagem para eliminar essas variáveis.
O que é importante por trás disso tudo
O dispositivo utiliza elementos de infravermelho de onda curta, com design térmico aprimorado com quartzo. Isso permite uma uniformidade de temperatura de ±0,1°C em toda a área ativa do wafer. A repetibilidade da temperatura fica entre ±0,2°C de lote para lote, o que garante que os processos de secagem sejam consistentes – exatamente o que é necessário para trabalhos com fotorresistente críticos.
É compatível com salas limpas de classes 1–100, graças aos materiais com baixa emissão de gases, conexões seladas e uma arquitetura que evita a emissão de partículas durante o funcionamento. Em nossas linhas piloto, o aquecedor funciona 24/7, sem interrupções, e seu consumo de energia é ajustado de modo a não exceder o limite estabelecido para os substratos utilizados nos laboratórios.
Por que funciona bem nas fábricas
Na fabricação em laboratório, o período de secagem é muito curto: é preciso uma desidratação rápida, controle preciso da temperatura e um processo que não cause contaminações. Este dispositivo substitui as placas aquecidas convencionais e os sistemas de infravermelho antigos por uma solução confiável e compatível com os padrões internacionais de equipamentos semicondutores.
Os benefícios são claros: controle mais preciso das dimensões críticas, menos retrabalhos e tempos de ciclo previsíveis. Quando as flutuações de temperatura desaparecem, os problemas de adesão causados por secagem insuficiente ou excessiva também diminuem.
Detalhes práticos que você precisa considerar
A instalação requer uma fonte de alimentação dedicada de 24 VDC, com conexão a terra adequada. Se houver instrumentos sensíveis a interferências eletromagnéticas nas proximidades, planeje o isolamento desde o início. O aquecedor atinge rapidamente a temperatura desejada, mas a massa térmica varia de acordo com o substrato utilizado. Portanto, verifique a taxa de aumento de temperatura para cada tipo de chip.
Oferecemos interfaces padrão para integração, mas, quando se trata de suportes não padrão, geralmente é necessário usar acessórios personalizados. Se fizer essa configuração corretamente, terá um desempenho consistente, com menos surpresas no futuro.