Aquecedor infravermelho de precisão para eletrônicos

Wed, 01 Jul 2026 13:06:03 +0800

Na linha de fabricação, o processo de secagem do fotoresistente não é apenas um passo de aquecimento preliminar. Trata-se, na verdade, de um processo essencial para garantir a precisão dos resultados. Uma variação de 2°C durante esse processo pode causar grandes variações nas dimensões críticas do wafer. Por isso, desenvolvemos um aquecedor infravermelho de alta precisão, capaz de manter a temperatura exata nos pontos importantes.

O que realmente importa, do ponto de vista técnico: Utilizamos fontes de luz de onda curta para um aquecimento rápido e direto. A resposta do sistema é inferior a um segundo, e a uniformidade da temperatura ao redor do wafer fica dentro de ±0,1°C. O corpo do aquecedor é feito de quartzo e cerâmica de alta pureza, o que elimina qualquer tipo de emissão de gases ou partículas. Assim, o ambiente permanece dentro das condições exigidas por salas limpas de classe 1–100. A repetibilidade da temperatura entre ciclos é de ±0,5°C, garantindo que cada ciclo de aquecimento tenha as mesmas condições térmicas. O controle em ciclo fechado utiliza pirômetros calibrados e um SSR estável, o que evita o surgimento de pontos quentes nas bordas do wafer.

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