Почему мы отказываемся от использования горячего воздуха в пользу инфракрасных лучей
Если вы до сих пор используете горячий воздух для обработки полупроводников, то, по сути, вы просто ждете, пока процесс завершится.
Подумайте об этом: горячий воздух работает на основе конвекции – вы нагреваете воздух, а затем надеетесь, что этот воздух нагреет деталь. Этот процесс медленный. Есть ещё и неприятная задержка – приходится ждать, пока тепло распространится по всей детали.
Инфракрасные лучи работают иначе: они не нуждаются в посреднике. Вместо того чтобы нагревать всю комнату, они направляют электромагнитные волны прямо в материал. Это быстро и эффективно.
В чистых помещениях время – это все. Каждая секунда, которую вы тратите на ожидание стабилизации условий в камере, – это потеря денег из вашего бюджета.
С использованием горячего воздуха процесс нагрева занимает много времени. Но с инфракрасными лучами вы достигаете нужной температуры за считанные секунды. Не нужно ждать, пока воздух «догонит» тепло. Это значит, что процессы происходят быстрее, а оборудование может быть меньше по размеру, так как не требуется большое количество резервуаров с горячим воздухом.
Мы не просто помещаем лампы в корпус. Мы изготавливаем корпуса из высококачественной нержавеющей стали. Но ключевым фактором является геометрия конструкции: металл должен отражать инфракрасные лучи обратно на деталь. Так тепло остается там, где нужно, а не распространяется по всему корпусу.
Но есть и сложности: физика. Нержавеющая сталь и кварцевые лампы расширяются при нагревании по-разному. Если закрепить их слишком туго, лампы могут разрушиться во время резкого нагрева. Это настоящий кошмар.
Чтобы этого избежать, мы используем специальные элементы в креплениях, которые позволяют материалам «дышать», тем самым предотвращая разрушение оборудования.
Но у инфракрасных лучей тоже есть свои недостатки. Самый серьезный из них – необходимость наличия прямой видимости между лампой и деталью. Поскольку это излучательное тепло, если часть детали находится в тени, она не получает тепла. Она остается холодной, в то время как остальная часть детали нагревается.
Чтобы исправить это, нельзя просто поместить лампу в нужное место. Необходимо тщательно продумать углы расположения ламп. Обычно мы используем систему с несколькими лампами, чтобы тепло достигало каждого уголка пластины. Это требует дополнительных усилий, но результат того стоит.