Вафля on China Infrared Heating Manufacturer

Инфракрасный нагреватель для пластин после чистки

Thu, 02 Jul 2026 09:03:54 +0800

На этапе после очистки на производственной линии процент годных изделий может снизиться за несколько минут. После процедуры очистки или промывки на поверхности кристалла остается небольшая шероховатость и влага. Если температура, необходимая для дальнейшей обработки, будет отклоняться хотя бы на один градус, растворители будут продолжать оставаться на поверхности, а адгезия фотополимера ухудшится. Это приведет к нарушению контроля за критическими размерами изделий. Мы разработали инфракрасный нагреватель для использования после очистки, чтобы устранить такие проблемы.

Что имеет значение с технической точки зрения
Устройство использует коротковолновые инфракрасные излучатели в модуле на основе кварца. Благодаря этому достигается быстрое нагревание поверхности без необходимости полного нагрева всей камеры. Равномерность температуры на поверхности кристалла составляет ±0,1°C в диапазоне от 80°C до 250°C – это позволяет использовать различные режимы нагрева. Время реакции составляет менее 3 секунд, что позволяет сохранять стабильность температуры.

Зонированное отопление для современных заводов по производству пластин

Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800

На производственной площадке достаточно небольшого изменения температуры в 0,3°C на поверхности кристалла, чтобы это повлияло на параметры фотополимера, привело к его деформации и вывело его температуру за пределы допустимых значений. Нет никаких сигналов тревоги. В итоге получается бракованный продукт, а также необходимость срочного вмешательства со стороны специалистов по литографии.

Что действительно важно Мы использовали систему зонированного нагрева с автономным управлением отдельными тепловыми зонами. Каждая зона оснащена излучателями в инфракрасном диапазоне с высокой скоростью реакции; профиль температуры контролируется с помощью кварцевых элементов. Таким образом, температура в каждой зоне остается стабильной в диапазоне от 150 до 300°C с точностью ±0,1°C.

Тонкослойное нагревание инфракрасным излучением

Tue, 09 Jun 2026 03:46:17 +0800

На производственном участке уменьшение толщины пластин — это термочувствительная операция. Неравномерный тепловой профиль при инфракрасном нагреве не только деформирует пластину; он вызывает потери выхода годных из-за коробления, напряжений в фоторезисте и микротрещин, которые проявляются на более поздних этапах литографии и упаковки. Требуется источник тепла, который обрабатывает всю поверхность как единую повторяемую тепловую зону.

Технически важные моменты
Наши модули коротковолнового инфракрасного нагрева обеспечивают однородность температуры на уровне пластины в пределах ±0,1°C по всей подложке, с временем отклика менее 2 секунд и стабильными уставками от комнатной температуры до 450°C. Массив излучателей использует кварцево-галогеновые элементы в отражательном исполнении, минимизирующем горячие точки, а тепловая система сконструирована для работы в чистой зоне класса 1–100 с нулевой генерацией частиц в стабильном режиме. Повторяемость температуры сохраняется лучше ±0,5°C более 5 000 часов, что обеспечивает стабильность профилей мягкой и жесткой термообработки фоторезиста.