http://ir-heat-china.com/ru/tags/%D0%BF%D1%80%D0%BE%D0%B4%D0%B2%D0%B8%D0%BD%D1%83%D1%82%D0%BE%D0%B5/ Recent content in Продвинутое on China Infrared Heating Manufacturer Hugo ru Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/ru/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/ru/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Зонированное отопление для современных заводов по производству пластин"></p> <p>На производственной площадке достаточно небольшого изменения температуры в 0,3°C на поверхности кристалла, чтобы это повлияло на параметры фотополимера, привело к его деформации и вывело его температуру за пределы допустимых значений. Нет никаких сигналов тревоги. В итоге получается бракованный продукт, а также необходимость срочного вмешательства со стороны специалистов по литографии.</p> <p><strong>Что действительно важно</strong> Мы использовали систему зонированного нагрева с автономным управлением отдельными тепловыми зонами. Каждая зона оснащена излучателями в инфракрасном диапазоне с высокой скоростью реакции; профиль температуры контролируется с помощью кварцевых элементов. Таким образом, температура в каждой зоне остается стабильной в диапазоне от 150 до 300°C с точностью ±0,1°C.</p>