ตัวควบคุมเครื่องอบด้วยแสงอินฟราเรดแบบดิจิทัล
ทำไมตัวสะท้อนแสงที่เคลือบด้วยทองคำจึงมีความสำคัญในการอบแห้งวงแหวนซิลิกอน
เมื่อคุณอบแห้งวงแหวนซิลิกอน คุณไม่ได้ต้องการเพียงแค่ความร้อนเท่านั้น...
FOUP (Front Opening Unified Pod) เครื่องอบ
บนพื้นที่ลิโทกราฟี FOUP หนึ่งชุดถูกเลื่อนเข้าสู่รางพร้อมแผ่นเวเฟอร์ 25 แผ่น แต่ละแผ่นเคลือบด้วยโฟโตรซิสต์ใหม่...