http://ir-heat-china.com/tr/tags/geli%C5%9Fmi%C5%9F/ Recent content in Gelişmiş on China Infrared Heating Manufacturer Hugo tr Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/tr/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/tr/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="İleri düzey yonga üretim tesisleri için bölgesel ısıtma"></p> <p>Üretim alanında, wafer üzerindeki sıcaklık farkı 0,3°C bile olsa bu durum CD değerlerinde değişikliklere, üst katmanların bozulmasına ve fotoresistin <a href="https://henruite.com">termal</a> sınırlarının dışına çıkmasına neden olabilir. Herhangi bir uyarı ışığı yoktur; sadece atık malzeme ve litografi bölümünden acil çağrılar gelir.</p> <p><strong>Asıl önemli olan şeyler:</strong> Ayrı, kapalı devre kontrolüne sahip bölgeler halinde ısıtma sistemleri kullanıyoruz. Her bölge, kuvars ile stabilize edilmiş hızlı tepki veren NIR emitörlerle çalışır ve 150–300°C arasındaki sabit sıcaklıkları ±0,1°C’lik bir doğrulukla korur.</p>