http://ir-heat-china.com/tr/tags/kuvars/ Recent content in Kuvars on China Infrared Heating Manufacturer Hugo tr Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/tr/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/tr/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Fabrika IR lambası için kuvars kılıfı"></p> <p>Litografi katında, soft bake ve hard bake ödün vermez. Fotoresist, termal bütçenin gösterdiği şekilde davranır—istisnası yoktur. IR lambası zayıf veya tutarsızsa, tekrar şansı yoktur. Çizgi genişliği değişkenliği, kalıntı ve hurda oluşur.<br> 300 mm wafer’ları sıkı bir döngüde çalıştırıyorsunuz—kaplama, pişirme, pozlama, geliştirme. Termal profil, wafer’dan wafer’a, partiden partiye tekrarlanmak zorunda. Lamba muhafazası aşırı ısındığında, set noktası kayar. Kılıf (sleeve) eşit olmayan ısı ilettiğinde, kenar merkezden farklı bir sıcaklık alır. Ekipman telafi edebilir, ancak proses penceresi daralır.<br> Fabrika IR lambaları için kuvars kılıf, tolere edilen bir sarf malzemesi değildir. Isı kaynağınız ile fotoresist arasındaki arayüzdür. Homojenlik, tekrarlanabilirlik ve çalışma süresini belirler.</p>