Temizleme sonrası yonga kızılötesi ısıtıcısı
Üretim alanında, temizleme işleminin ardından gelen aşamada verimlilik birkaç dakika içinde kaybolabilir. Wafer, temizleme veya durulama...
Elipsometri wafer sıcaklık sensörü
Üretim alanında, waferlerin test edilmesi ve reaktif maddelerin pişirilmesi sırasındaki sıcaklık değişiklikleri, sadece belirlenen özellikleri...