На виробничій лінії процес випалювання не є просто паузою – це значущий етап у всьому процесі виробництва. Процес м’якого та жорсткого випалювання визначає параметри контролю критичних розмірів, процес видалення розчинників та якість прилипання фотополімеру до поверхні пластини. Якщо температура на нагрівальній платі змінюється, або значення температури не контролюється, то якість продукції значно погіршується. Саме тому ми створили інфрачервоні нагрівальні модулі: температура є важливим параметром, який необхідно постійно контролювати.
Що має значення з технічної точки зору
Ми використовуємо інфрачервоні випромінювачі короткої довжини хвилі з кварцевими елементами швидкої реакції. Тепло потрапляє саме туди, де це необхідно, без негативного впливу на навколишні елементи. Уніфікованість температури на поверхні пластини залишається на рівні ±0,1°C протягом усього процесу, тож ширина ліній та її профіль залишаються стабільними з кожною партією продукції. Процеси регулювання температури здійснюються за допомогою замкнутого контуру зворотного зв’язку, що забезпечує стабільність температури як для пластин діаметром 150 мм, так і 200 мм. Ці модулі призначені для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; вони виготовлені з матеріалів з низьким рівнем випаровування та мають конструкцію, яка зменшує утворення частинок.
Чому це ефективно на реальній виробничій лінії
У процесі літографії ці модулі можна встановити на станції випалювання без проблем із робототехнікою. Це забезпечує стабільну роботу фотополімеру – менше проблем із його прилипанням, менше дефектів та менше необхідності в переробці продукції. Витрати енергії також зменшуються, оскільки нагрівається лише сам фотополімер, а не вся камера. Також покращується час роботи системи – вона може працювати 24/7 завдяки правильному обслуговуванню, що запобігає несподіваним зупинкам процесу.
Що потрібно врахувати під час планування
Під час встановлення необхідно врахувати механічні характеристики пристрою та способи підключення до конкретної виробничої лінії. Очікуйте короткий період налаштування для контролю температури та усунення відхилень. Емітери мають тривалий термін служби, але вони не є вічними – необхідно запланувати їх заміну під час профілактичного обслуговування, щоб параметри температури залишалися стабільними.