На етапі сушіння пластини перед процедурою літографії саме цей етап визначає якість кінцевого продукту – і робить це досить значною мірою. Залишки фотополімеру, сліди води, проблеми з краями пластини – у більшості випадків їх можна пов’язати з коливаннями температури, недостатньою швидкістю контролю температури чи наявністю частинок, які утворюються в самому обладнанні. Ми створили нагрівач для сушіння типу “Lab-on-a-Chip”, щоб усунути ці проблеми.
Що є важливим у цьому обладнанні
Цей пристрій використовує інфрачервоні елементи короткої довжини хвилі та теплову конструкцію з кварцовими елементами, що забезпечує однорідність температури на всій поверхні пластини на рівні ±0,1°C. Повторюваність температури становить ±0,2°C між серіями виробництва, що дозволяє зберігати стабільність параметрів процесу сушіння – саме це необхідно для ефективної обробки фотополімеру.
Пристрій сумісний з чистими приміщеннями класу 1–100 завдяки матеріалам з низьким рівнем випаровування, герметичним з’єднанням та системі, яка запобігає утворенню частинок під час роботи. У наших пілотних лініях пристрій працює 24/7 без перерв, а споживана енергія підлаштовується так, щоб не перевищувати необхідний рівень для обробки пластин.
Чому це підходить для реальних умов виробництва
Під час виробництва на основі технології “Lab-on-a-Chip” час сушіння є дуже обмеженим. Тож необхідна швидка дегідратація, точний контроль температури та процес, який не спричиняє забруднень. Цей пристрій замінює старі нагрівачі та інфрачервоні системи на більш ефективне рішення, яке відповідає міжнародним стандартам обладнання для виробництва напівпровідників.
Результати використання цього обладнання є очевидними: кращий контроль критичних розмірів, менше необхідності в повторній обробці та стабільні терміни виконання процесу. Коли зникають коливання температури, з’являється можливість ефективнішої обробки пластин, а проблеми, пов’язані з недостатньою чи надмірною температурою, зменшуються.
Практичні аспекти, які потрібно врахувати під час встановлення
Для роботи пристрою потрібне окреме живлення 24 В DC з правильним заземленням. Якщо поруч знаходяться пристрої, чутливі до ЕМІ, необхідно заздалегідь планувати заходи щодо ізоляції. Пристрій швидко досягає заданої температури, але теплова ємність залежить від типу пластини, тож необхідно перевірити швидкість зміни температури для конкретного типу пластини.
Ми надаємо стандартні інтерфейси для інтеграції, але для нетипових пристроїв можуть знадобитися спеціальні рішення. Якщо правильно провести первинну налаштовку, можна отримати стабільну продуктивність без несподіваних проблем у майбутньому.