Trong quy trình sản xuất, bước nung khô không phải là một giai đoạn tạm dừng, mà là một điểm ngăn cản trong dòng chảy của quy trình sản xuất. Việc nung khô ở nhiệt độ thấp hay cao sẽ ảnh hưởng đến việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer, khả năng loại bỏ chất lỏng dư thừa, và khả năng bám dính của lớp phim quang hóa. Nếu bề mặt nung bị lệch hoặc nhiệt độ không được kiểm soát chặt chẽ, chất lượng sản phẩm sẽ giảm sút. Đó chính là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các mô-đun sưởi ấm bằng tia hồng ngoại: nhiệt độ không chỉ là một con số, mà còn là yếu tố quan trọng cần được kiểm soát chặt chẽ.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại sóng ngắn kết hợp với các thành phần thạch anh có khả năng phản ứng nhanh. Hơi nóng được tạo ra sẽ được chuyển trực tiếp đến vị trí cần thiết, mà không làm ảnh hưởng đến các bộ phận xung quanh. Độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C trong suốt quá trình sản xuất, nhờ đó kích thước và hình dạng của wafer vẫn giữ nguyên từ llot này sang llot khác. Quá trình nung được kiểm soát bằng hệ thống phản hồi khép kín, giúp duy trì nhiệt độ ổn định cho cả wafer kích thước 150 mm và 200 mm. Các mô-đun này được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100, với việc sử dụng vật liệu ít phát ra khí và thiết kế giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi.
Tại sao chúng hoạt động tốt trong môi trường sản xuất thực tế? Trong quy trình sản xuất, các mô-đun này có thể được lắp đặt vào các trạm nung mà không gây cản trở quá trình vận hành tự động. Điều này giúp đảm bảo tính ổn định của lớp phim quang hóa, giảm số lượng lỗi và giảm công việc sửa chữa. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì chúng ta chỉ cần sưởi ấm lớp phim, chứ không phải toàn bộ buồng sản xuất. Thời gian hoạt động của hệ thống cũng được cải thiện, vì hệ thống có thể hoạt động 24/7 với việc bảo trì định kỳ, giúp tránh những sự cố bất ngờ gây gián đoạn quy trình sản xuất.
Những điều bạn cần lưu ý khi lên kế hoạch Việc lắp đặt các mô-đun này đòi hỏi phải tương thích với cấu trúc cơ học và các cổng kết nối của thiết bị sản xuất của bạn. Bạn cần dành thời gian để điều chỉnh tốc độ nung và kiểm soát độ chính xác của nhiệt độ. Các bộ phát tia hồng ngoại có tuổi thọ cao, nhưng chúng cũng không thể hoạt động mãi mãi. Vì vậy, bạn cần lên kế hoạch thay thế chúng trong quá trình bảo trì định kỳ, để đảm bảo độ ổn định của nhiệt độ trong suốt quá trình sản xuất.