
Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng khi xử lý các tấm wafer
Khi xử lý các tấm wafer, việc kiểm soát nhiệt độ là rất quan trọng. Nhưng vấn đề là: hầu hết các hệ thống hiện nay đều để lộ nhiệt lượng ra khắp mọi nơi. Kết quả là máy móc bị nóng lên thay vì các tấm wafer. Đó là sự lãng phí – không chỉ về mặt năng lượng mà còn cả tiền bạc nữa.
Nơi mà nhiệt lượng thực sự đi đến
Hãy tưởng tượng một chiếc đèn dùng để xử lý wafer nhưng không có bộ phản xạ ánh sáng. Hơn một nửa năng lượng từ đèn sẽ bị thải ra phía sau. Thực chất, đó chính là một thiết bị sưởi ấm cho khu vực sản xuất. Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các bộ phản xạ được phủ bằng vàng hoặc nhôm có độ tinh khiết cao. Những bộ phản xạ này giúp đưa nhiệt lượng trở lại chính nơi cần thiết – tức là lên các tấm wafer. Kết quả là bạn vẫn có thể đạt được hiệu quả xử lý tương tự, nhưng có thể giảm mức công suất sử dụng. Chi phí điện sẽ giảm, và lượng khí thải carbon cũng giảm theo. Đó chính là giải pháp tối ưu.
Nguy cơ của các “vùng lạnh”
Loại vật liệu bạn sử dụng cũng rất quan trọng. Nếu bạn sử dụng ánh sáng hồng ngoại sóng ngắn, bạn cần phải chọn loại vật liệu không bị biến dạng khi bị nóng lên. Nếu bộ phản xạ bị biến dạng hoặc bị oxy hóa, sẽ xuất hiện các “vùng lạnh” trên các tấm wafer. Hầu hết mọi người đều cố gắng tăng công suất đèn để bù đắp cho điều này. Đừng làm vậy. Việc tăng công suất quá mức chỉ khiến hiệu suất hoạt động của đèn giảm sút, và đèn sẽ hỏng nhanh hơn bình thường.
Sự đánh đổi
Việc chuyển sang sử dụng giải pháp “xanh” không phải là điều dễ dàng; nó đòi hỏi phải có những sự đánh đổi nhất định. Vì các bộ phản xạ này tập trung nhiệt lượng một cách mạnh mẽ, nên khu vực xung quanh đèn sẽ rất nóng. Bạn không thể phớt lờ vấn đề làm mát. Nếu dòng khí làm mát yếu, vỏ đèn sẽ bị nổ. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát của bạn hoạt động hiệu quả.
Giải pháp đơn giản
Chúng tôi thiết kế các bộ phản xạ này sao cho có thể thay thế một cách dễ dàng. Bạn không cần phải tháo rời toàn bộ hệ thống hay làm chậm tốc độ sản xuất. Bạn chỉ cần thay đổi cấu trúc của bộ phản xạ, và ngay lập tức bạn sẽ tiết kiệm được năng lượng sử dụng. Đây chính là giải pháp hiệu quả nhất dành cho những ai muốn giảm lượng khí thải carbon mà không gây ra nhiều phiền toái.